Tryksensor fejl?
For det første offsetfejl: Da tryksensorens vertikale offset forbliver konstant i hele trykområdet, vil ændringer i konverterens diffusion og laserjusteringskorrektion resultere i offsetfejl.
For det andet er der følsomhedsfejl: størrelsen af den genererede fejl er proportional med trykket. Hvis enhedens følsomhed er højere end den typiske værdi, vil følsomhedsfejlen være en stigende funktion af trykket. Hvis følsomheden er lavere end den typiske værdi, vil følsomhedsfejlen være en faldende funktion af trykket. Årsagen til denne fejl skyldes ændringer i diffusionsprocessen.
Den tredje er lineær fejl: dette er en faktor, der har en lille indvirkning på den indledende fejl af tryksensorer. Årsagen til denne fejl er den fysiske ulinearitet af siliciumwaferen, men for sensorer med forstærkere bør forstærkerens ulinearitet også inkluderes. Den lineære fejlkurve kan være en konkav kurve eller en konveks kurve til vejesensorer.
Endelig er der hysteresefejl: I de fleste tilfælde kan hysteresefejlen for tryksensorer ignoreres fuldstændigt, fordi siliciumwafers har høj mekanisk stivhed. Generelt skal hysteresefejl kun tages i betragtning i situationer, hvor trykket ændrer sig væsentligt.
